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表面形貌测试

探针式表面轮廓仪：
P-7 是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。P-7建立在市场P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的卓越测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。
主要功能
台阶高度：几纳米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
样品全直径扫描，无需图像拼接 ? 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
生产能力：通过测序，模式识别和SECS / GEM实现全自动化

晶圆切割| 陶瓷管壳封装| sop8封装| 掩膜版

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