测试服务

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Testing service

薄膜厚度测试
应用:
–可以测量最大5层重叠薄膜的厚度和折射率。
–可测量如氧化物,氮化物,光阻,导电玻璃,聚合物和半导体薄膜等透明或半透明薄膜。
主要技术指标参数:
–对特定的介电质测量厚度范围20纳米到150微米。
–对特定的材料厚道测量精度小于厚度的百分之一。
–测量波长范围350纳米到1450纳米。
–自动测量点定位的功能,电机驱动的样品台最大可满足直径200毫米样品使用。
–有完备的光学参数数据库可供调用。


快速退火工艺(一)
快速退火工艺(一)

2023-11-17

快速热退火是用各种热辐照源,直接照射在样品表面上,迅速将样品加热至700~1200℃左右在几秒~几十秒的时间内完成退火。它与常规热退火相比,有下列优点...

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离子镀膜
离子镀膜

2023-10-16

离子镀是一种在真空环境中,利用高压气体放电将镀料蒸发后离子化,沉积在产品表面形成一层镀膜的工艺。  离子镀工艺出现于上世纪70年代,是一种...

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常规ICP刻蚀的操作流程
常规ICP刻蚀的操作流程

2023-10-13

(一)装片:1,在Pump 界面点击左边Pump 图标下Stop,切换至Vent ,120s 后打开 Loadlock;2,涂抹真空油脂:根据片子尺寸大小,在托盘上涂抹...

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分子束外延的技术难点
分子束外延的技术难点

2023-10-09

分子束外延是50年代用真空蒸发技术制备半导体薄膜材料发展而来的。随着超高真空技术的发展而日趋完善,由于分子束外延技术的发展开拓了一系列崭新的超...

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