TEM（透射电子显微镜） - 微观结构分析 - 微纳设计制造-苏州硅时代电子科技有限公司

TEM（透射电子显微镜）

应用：
透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的超薄切片，通常为50～100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通常是挂预处理过的铜网上进行观察。
样品要求：
粉末样品基本要求：
（1）单颗粉末尺寸最好小于1μm；
（2）无磁性；
（3）以无机成分为主，否则会造成电镜严重的污染，高压跳掉，甚至击坏高压枪；
块状样品基本要求：
（1）需要电解减薄或离子减薄，获得几十纳米的薄区才能观察；
（2）如晶粒尺寸小于1μm，也可用破碎等机械方法制成粉末来观察；
（3）无磁性；
用途
X射线能谱在透射扫描电镜中与扫描功能配合可得元素分布图。应用电子通道增强效应还可以测定杂质元素或合金元素在有序化合物中占据亚点阵位置的百分数。
优点
（1）能谱仪探测X射线的效率高；
（2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长；
（3）结构简单，稳定性和重现性都很好；
（4）不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。

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