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MEMS加工

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镀膜

低压化学气相沉积

SiNx，片内均匀性：<±5%
等离子增强化学气相沉积

SiO₂，SiNx，a-Si(B,P,Ge掺杂)
感应耦合化学气相沉积

SiO₂，SiNx，SiC(低温、低应力镀膜)
原子层沉积

Al2O3、HfO2、AlN
光学镀膜

SiO2、MgF2、ITO、TiO2、Ta2O5、ZrO2、Al2O3
溅射沉积

Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Ru、Si、SiC、NiCr20、Nb
电子束蒸发

Ti，Al，Ni，Ag，Cr，Sn，Pt，AuGe
热蒸发

Sn，AuSn，Ag，Au

案例展示

高密度金属Al厚膜金属膜沉积 20nm HfO2 onto Si trenches Au Lift-off Process

（AR=25）

晶圆切割| 陶瓷管壳封装| sop8封装| 掩膜版

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