微特云办公系统
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微流道芯片
Product pilot test
1.硼硅玻璃：BF33玻璃，是一种高硼硅玻璃具有出色的耐热性、极高的透明度、高化学耐受性以及优异的机械强度。
2.石英玻璃：具有低热膨胀系数、耐化学性强、耐高温（最高可达 900ºC) 、具有优异的光学性能，如均匀性和高紫外线透射率，适用于微流体流动池、微反应器和紫外分光光度法检测的微流控芯片。
石英玻璃 也比其他类型的玻璃更能抵抗热冲击。
1.深度1um内用IBE刻蚀，刻蚀精度10%以内，深宽比1:1，加工效率高。
2.深度1-20um，可用NLD刻蚀，刻蚀具有高刻蚀速率、高均匀性、高等离子体密度及低压放电。
3.深度20um以上用湿法腐蚀，加工效率高，深宽比2:1以上。
4.线宽200um以上，精度要求低，可采用激光刻蚀。
| 加工案例 | |||
| T型液滴 | 流动聚焦型 | 激光刻蚀 | |
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2023-10-13
（一）装片：1，在Pump 界面点击左边Pump 图标下Stop，切换至Vent ，120s 后打开 Loadlock；2，涂抹真空油脂：根据片子尺寸大小，在托盘上涂抹...
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2023-10-09
分子束外延是50年代用真空蒸发技术制备半导体薄膜材料发展而来的。随着超高真空技术的发展而日趋完善，由于分子束外延技术的发展开拓了一系列崭新的超...
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